




高純氣體(High Purity Gases)氣體是工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氫,氮,氦,特種氣體廠家直銷,ya而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.199%即可稱高純氧;對于碳氫化合物,純度為99199%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬,在半導體工業(yè),特種氣體批發(fā)公司,高純氮,氫,ya,氦可作為運載氣,保護氣和配制混合氣的底氣。

特種氣體是光電子、微電子等領域。特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準確性。半導體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達百余種。

電子特種氣體種類多,應用領域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%,常州特種氣體,但是由于其品種繁多,特種氣體價格多少,在半導體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應環(huán)節(jié)所涉及的市場依然是國內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積(CVD)用氣體、載運稀釋氣體七類。

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